Die Sol-Synthese für organisch-anorganische Hybridschichten
Für die Herstellung organisch-anorganischer
Hybrid-Schichten werden ähnliche Ausgangschemikalien verwendet wie für die Sole
zur Abscheidung oxidkeramischer Schichten. Neben Metallalkoholaten kommen insbesondere
ORMOSILe (organisch modifizierte Silane) zum Einsatz.

Für die Solsynthese werden neben Alkoholaten (a), wie
beispielsweise dem TEOS (Tetraethoxyortho-silan) netzwerkmodifizierende (b) sowie
netzwerkbildende (c) ORMOSILe eingesetzt. Einer der einfachsten
netzwerkmodifizierenden ORMOSILen ist das Methyltriethoxysilan, kurz MTES.
Neben den drei Ethoxygruppen, die durch Polykondensation vernetzten erhält es
eine Methylgruppe die chemisch inaktiv bleibt und so den Vernetzungsgrad im Gel
reduziert.
Ein typisches netzwerkbildendes ORMOSIL ist Methacryloxypropyltrimethoxysilan,
kurz MATMS. Die organische Vernetzung erfolgt hier über eine Methacryl-Gruppe.

Durch die Kombination netzwerkbildender und
netzwerkmodifizierender ORMOSILe sowie reinen Metallalkoholaten lassen sich
sehr unterschiedliche Hybridwerkstoffe herstellen. Diese Werkstoffe zeichnen
sich durch neuartige Eigenschaften aus, da hier auf molekularer Ebene eine
Mischung anorganischer Metalloxidbrückenbindungen und organischer Bindungen
über Kohlenwasserstoffketten vor liegt.
Eigenschaften keramisch-organischer Hybridwerkstoffe
Hybridwerkstoffe auf der Basis von
MATMS erreichen Temperaturbeständigkeiten bis 280°C. Für Temperaturen über
280°C beginnt die Zersetzung der organischen Bestandteile. Hybrid-Schichten mit
sehr geringen organischen Anteilen können aber auch bis zu deutlich höheren
Temperaturen eingesetzt werden.
Die Härte der Hybridschichten
liegt über der gewöhnlicher Kunststoffe. Gleichzeitig wird eine höhere
Duktilität bzw. Bruchdehnung im Vergleich zu keramischen Werkstoffen erreicht.
Bei klassischen Sol-Gel-Verfahren ist die Abscheidung rissfreier
oxidkeramischer Schichten auf Schichtdicken im Submikrometerbereich begrenzt,
da die Schichten im Gel-Zustand einer starken lateralen Kontraktion unterliegen
und dabei gleichzeitig eine hohe Sprödigkeit entwickeln, was bei Überschreiten
einer kritischen Schichtdicke zu Rissbildung führt. Deshalb beträgt die
maximale Schichtdicke, die in einem Beschichtungsprozess abgeschieden werden
kann bei ca. 0,4 μm. Mit organisch-anorganischen Hybriden lassen sich
Schichtdicken bis 30 μm rissfrei abscheiden, da hier die Schichtduktilität
größer als bei rein keramischen Schichten ist. Darüber hinaus sind viele
Hybridwerkstoffe im Gegensatz zu oxidkeramischen Werkstoffen hydrophob. Da kein
Wasser eindringt wird die beschichtete Oberfläche vor Korrosion geschützt.

TEOS/MTES-Schichten können mit
einer Schichtdicke von ca. 6 μm rissfrei abgeschieden werden und zeigen eine
Temperaturbeständigkeit bis 900°C. Nach einer Wärmebehandlung von 700°C 4 h
wird eine Schichthärte von ca. 3,5 GPa erreicht. Zum Vergleich das verwendete
Stahlsubstrat (X4CrNi18-10) erreicht dagegen nur eine Härte von 2,3 GPa. Diese
Schichten lassen im Gegensatz zu technischen Eisen bzw. Nickelbasislegierungen
mit Diamantwerkzeugen bearbeiten.

Im Rahmen des transregionalen
DFG-Sonderforschungsbereiches TR4 wurden am Labor für Mikrozerspanung (LFM)
verschiedene Bearbeitungsexperimente durchgeführt, wie das Plan/Querdrehen, das
Stirn-Umfangs-Längs-Fräsen und das Ritzen mit einem rotierenden Werkzeug.

Die rasterelektronenmikroskopische
Analyse bearbeiteter TEOS/MTES-Schichten zeigt, dass sich diese Schichte mit
einem Diamantwerkzeug bearbeiten lassen, ohne dass übermäßiger Verschleiß am
Diamantwerkzeug auftritt. Allerdings zeigen die Ergebnisse auch, dass die
Schichten derzeit noch keine ausreichende Schichthaftung auf dem Stahlsubstrat
haben, da sie jeweils in tiefer bearbeiten Bereichen eine Schichtablösung
(Abplatzung) vom Substrat beobachtet wird.
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